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Chemistry of the Semiconductor Industry 1989 edition
S.J. Moss
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Chemistry of the Semiconductor Industry 1989 edition
S.J. Moss
This book covers the chemistry of the major processes involved in the manufacture of integrated circuits. The authors describe all the major processes in use, together with some processes which are currently being developed and hold future promise.
440 pages, black & white illustrations
Medien | Bücher Gebundenes Buch (Buch mit hartem Rücken und steifem Einband) |
Erscheinungsdatum | 28. Februar 1989 |
ISBN13 | 9780216920057 |
Verlag | Kluwer Academic Publishers Group |
Seitenanzahl | 426 |
Maße | 160 × 230 × 29 mm · 793 g |
Sprache | Englisch |
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