Bonding in Microsystem Technology - Springer Series in Advanced Microelectronics - Jan A. Dziuban - Bücher - Springer-Verlag New York Inc. - 9781402045783 - 13. Juni 2006
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Jan A. Dziuban
Bonding in Microsystem Technology - Springer Series in Advanced Microelectronics

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This is the first compendium on silicon/glass microsystems made by deep wet etching and the first book with a detailed description of bonding techniques used in microsystem technology. Technological results presented in the book have been tested experimentally by the author and his team, and can be utilized in day-to-day laboratory practice.

334 pages, biography

Medien Bücher     Gebundenes Buch   (Buch mit hartem Rücken und steifem Einband)
Erscheinungsdatum 13. Juni 2006
ISBN13 9781402045783
Verlag Springer-Verlag New York Inc.
Seitenanzahl 334
Maße 156 × 235 × 20 mm   ·   771 g
Sprache Englisch  

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