Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials - Microdevices - Wayne M. Moreau - Bücher - Springer-Verlag New York Inc. - 9781461282280 - 22. Februar 2012
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Wayne M. Moreau
Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials - Microdevices Softcover reprint of the original 1st ed. 1988 edition

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In fabricating a semiconductor device such as a transistor, a series of hot processes consisting of vacuum film deposition, oxidations, and dopant implantation are all patterned into microscopic circuits by the wet processes of lithography.

952 pages, black & white illustrations

Medien Bücher     Taschenbuch   (Buch mit Softcover und geklebtem Rücken)
Erscheinungsdatum 22. Februar 2012
ISBN13 9781461282280
Verlag Springer-Verlag New York Inc.
Seitenanzahl 952
Maße 170 × 244 × 48 mm   ·   1,48 kg
Sprache Englisch  

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