Micro / Nanolithography: A Heuristic Aspect on the Enduring Technology

Jagannathan Thirumalai

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Micro / Nanolithography: A Heuristic Aspect on the Enduring Technology

The main objective of this book is to give proficient people a comprehensive review of up-to-date global improvements in hypothetical and experimental evidences, perspectives and prospects of some newsworthy instrumentation and its numerous technological applications for a wide range of lithographic fabrication techniques.

134 pages

Medien	Bücher Gebundenes Buch (Buch mit hartem Rücken und steifem Einband)
Erscheinungsdatum	2. Mai 2018
ISBN13	9781789230307
Verlag	IntechOpen
Seitenanzahl	134
Maße	251 × 176 × 17 mm · 406 g
Sprache	Englisch
Redakteur	Thirumalai, Jagannathan

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