Process Variations in Microsystems Manufacturing - Microsystems and Nanosystems - Michael Huff - Bücher - Springer Nature Switzerland AG - 9783030405588 - 10. April 2020
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Michael Huff
Process Variations in Microsystems Manufacturing - Microsystems and Nanosystems 2020 Edition

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This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps.

521 pages, 24 Illustrations, color; 212 Illustrations, black and white; XIX, 521 p. 236 illus., 24 i

Medien Bücher     Gebundenes Buch   (Buch mit hartem Rücken und steifem Einband)
Erscheinungsdatum 10. April 2020
ISBN13 9783030405588
Verlag Springer Nature Switzerland AG
Seitenanzahl 521
Maße 162 × 244 × 36 mm   ·   922 g
Sprache Deutsch  

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