Thorsten Lill
Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology Thorsten Lill

Name: Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology
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Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology

Thorsten Lill

325 pages

Medien	Bücher Taschenbuch (Buch mit Softcover und geklebtem Rücken)
Erscheinungsdatum	21. April 2021
ISBN13	9783527346684
Verlag	Wiley-VCH Verlag GmbH
Seitenanzahl	304
Maße	245 × 171 × 18 mm · 584 g
Sprache	Englisch

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