Bonding in Microsystem Technology - Springer Series in Advanced Microelectronics - Jan A. Dziuban - Bücher - Springer - 9789048171514 - 25. November 2010
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Jan A. Dziuban
Bonding in Microsystem Technology - Springer Series in Advanced Microelectronics Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2006 edition

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This is the first compendium on silicon/glass microsystems made by deep wet etching and the first book with a detailed description of bonding techniques used in microsystem technology. Technological results presented in the book have been tested experimentally by the author and his team, and can be utilized in day-to-day laboratory practice.

334 pages, biography

Medien Bücher     Taschenbuch   (Buch mit Softcover und geklebtem Rücken)
Erscheinungsdatum 25. November 2010
ISBN13 9789048171514
Verlag Springer
Seitenanzahl 334
Maße 155 × 235 × 18 mm   ·   494 g
Sprache Englisch  

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