Specialty Gas Analysis: A Practical Guidebook - JD Hogan - Bücher - John Wiley & Sons Inc - 9780471185987 - 16. Mai 1997
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Specialty Gas Analysis: A Practical Guidebook

JD Hogan

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Specialty Gas Analysis: A Practical Guidebook

The semiconductor industry is moving toward gas-phase reagents, increasing the relative importance of gas purity. Anyone who deals in the manufacturing of these devices needs to understand the technology available for modern gas analysis.

200 pages, appendices, index

Medien Bücher     Gebundenes Buch   (Buch mit hartem Rücken und steifem Einband)
Erscheinungsdatum 16. Mai 1997
ISBN13 9780471185987
Verlag John Wiley & Sons Inc
Seitenanzahl 200
Maße 161 × 241 × 16 mm   ·   482 g
Redakteur Hogan, Jeremiah D.

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